分析・物性評価 / Materials Characterization & Physical Properties
環境制御型走査型プローブ顕微鏡
Environment Control Scanning Probe Microscopy
(日立ハイテクサイエンス E-Sweep)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/64a52dcd20c3e7ac59eb425809c94a48-300x240.png)
- AFM, DFM, PM (位相測定), 電流測定, PFM, KFM, MFM, SNDM
- 大気、真空、冷却加熱(-120〜300℃/RT〜1000℃)
- 磁場印加
共焦点レーザー顕微鏡
Confocal Laser Microscopy
(オリンパスLEXT OLS4000)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/084c6c65dcd368a7f198702833287a66-231x300.png)
- 3D測定レーザー顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(日立ハイテクサイエンス AFM5100N)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/1da02c0296bbb3d82d54b709bf222d78-280x300.png)
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(OXFORD Instruments MFP-3D Origin)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/e0948401b4ba0229f3490e3b8238481b-300x232.png)
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(オックスフォードインスツルメンツ CypherVRS)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2023/06/7d70e5a9cda3fb6806f5147444b46358-266x300.png)
・小径LDモジュール
・高速AFM(ビデオレート測定)
・コンダクティブAFMモジュール
デスクトップ単結晶X線構造解析装置
Desktop-type single crystal XRD
(XtaLAB mini II)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2023/05/IMG_0986-300x225.jpg)
X線光電子分光分析装置
X-ray Photoelectron Spectroscopy
(PHI VersaProbeIII)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2022/04/87629ec4c6ada75fd394a42931429269-300x227.png)
- UPS (紫外光電子分光)
- AES (オージェ電子分光)
- LEIPS (低エネルギー逆光電子分光)
- 走査型マイクロフォーカスX線源
電界放出型走査型電子顕微鏡
FE-SEM
(JSM-7610FPlus)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2022/04/7ad19c1c7450bc48404495be435006ea-300x223.png)
顕微ラマン分光装置
Micro Raman Spectroscopy
(Horiba Jobin-Yvon T64000)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/782b1f8bc61862dc9b39db68802a063c-300x248.png)
- 励起光源:Ar 514.5 nm
- トリプルモノクロメーター
- 測定波数範囲:5〜4000 cm-1
- 冷却加熱(4K〜RT/RT〜1500℃), クライオスタット、加熱ステージ利用
波長可変顕微ラマン分光装置
Micro Raman Spectroscopy
(Horiba Jobin-Yvon LabRAM HR-800)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/177774f3d83abfbcce9661ad4275cbf7-300x200.png)
- 励起波長:325, 515, 532, 568, 633, 752 nm
- シングルモノクロメーター + ノッチフィルター
- 測定波数範囲:100〜4000 cm-1
- 冷却加熱(4K〜RT/RT〜1500℃), クライオスタット、加熱ステージ利用
近接場分光システム
Near-Field Optical Spectroscopy
(Omicron TwinSNOM)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/image.png)
- 高空間分解能(~ 20 nm)でのラマン、PL、反射測定
FT-IR
(日本分光FT/IR-4600)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/FT-IR-225x300.png)
- 測定波数:350 – 7800 cm-1
- 分解能:0.7 cm-1
熱重量示差熱同時測定装置
TG/DTA
(STA7200)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/f0f875f3f615d1cc3e94892622d93a99-300x221.png)
紫外可視分光光度計
UV-Visible Spectrometer
(日立ハイテクサイエンス U-3900)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/a4eaf5966ae5eebbf2fdeec8d6c6d033-300x221.png)
紫外可視分光光度計
UV-Visible Spectrometer
(日立ハイテクサイエンス U-4100)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/f6f0ddd98e11ccfe5e001b68009eaaa6-300x274.png)
X線回折装置
X-Ray Diffractometer
(リガク 全自動多目的X線回折装置 SmartLab)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/4bca1a131a335958e1aa98acd0e36dbd-186x300.png)
磁気光学分光装置
Magneto-Optical Spectroscopy
(ネオアーク BH-M800UV-KC-KF)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/f3385ba10929e00fe933cc3c9016456b-300x225.png)
- 測定波長範囲:200 ~ 900 nm
- カー測定、ファラデー測定
- 印加磁場:± 2 kOe
- 冷却加熱(4K〜RT/RT〜800℃), クライオスタット、加熱ステージ利用
SHG 顕微鏡
SHG Microscopy
(Lambda Vision)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/94716c8f83e6e71cfb7f43d42065e760-281x300.png)
- 励起波長:1064, 752 nm
- 顕微SHG観察
磁場印加型低温プローバー
Low Temperature Prober System
(LakeShore TTPX/TS)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2018/09/4cfee517c40b5474ff63818cc7026ddd-300x232.png)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2018/09/2e653faab44801d88414caf88f3bbe81-150x150.png)
- 温度範囲:2 ~ 475 K
- 垂直磁場: 2 T
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システムとの接続により各種物性評価
環境制御型プローバー/グローブボックス
Environment Control Prober System
(共和理研 K-160MPH/MWH)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/a730cfaa2d4c5e715efcc24d345a8bcd-300x249.png)
- 温度範囲:室温 ~ 500℃
- 雰囲気制御(湿度、ガス導入)
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システムとの接続により各種物性評価
小型プローバー
Micro Prober System
(ハイソル HMP-400)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/1a3ab4f5cb95118827e7e1eaa8c58574-251x300.png)
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システム、マテリアルアナライザーと接続
- fAレベルの微小電流測定、fFレベルの微小容量測定、40GHzまでのRF測定
4探針プローバー
Four Point Prober
(ハイソル SR-4)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/9dfcc77b05b4ee6dfb98e7bcf3f18959-300x190.png)
- KEITHLEY 2401型ソースメータと接続
- シート抵抗値・体積抵抗率
誘電体評価システム(薄膜用)
(Keithley 4200 SCS + Agilent 4294A)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/cc300cf1a4711087f0a2a033e5b47e75-280x300.png)
- 周波数:40 Hz ~ 110 MHz
誘電体テストシステム(薄膜用)
(Keithley 4200 SCS + Agilent E4980A)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/5cd84c1603684ed559f789f292850ca0-270x300.png)
- 測定周波数:20 Hz ~ 2 MHz
強誘電体評価システム(薄膜用)
Dielectric Test System
(Radiant Premier II)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/221229413dd10c895fcd6af462aab84d-300x109.png)
- 微小キャパシタンス測定
- AFMとの接続によるナノ材料評価
強誘電体テストシステム(薄膜用)
Dielectric Test System
(東陽テクニカ FCE1A)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/4ddb45b75f5e40e92346fb531757d56b-300x262.png)
- 測定周波数:20 Hz ~ 2 MHz
強誘電体テストシステム(バルク、高電圧用)
Ferroelectric Test System
(Radiant Precision LC + 高電圧アンプ)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/0b757c5c02939611601c2a9a963c752b-300x237.png)
- 1kVまでの高電圧測定
誘電体テストシステム(バルク用)
Ferroelectric Test System
(東陽テクニカ 1260A + 1296A)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/ad76eb493cbb9a9a35ffb832acd6eefe-300x190.png)
- 100 TΩ超のインピーダンス測定
- 周波数:10 μHz〜10 MHz
- 加熱(RT〜800℃)電気炉接続
RFインピーダンス/マテリアルアナライザー
RF Impedance/Material Analyzer
(Agilent E4991A)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/2ca3db6a33b9506e546fa082bd4d1dc8-300x234.png)
- 1kVまでの高電圧測定
電気化学測定システム
Potentiostats Electrochemistry System
(Keithley 2450-EC)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/a030203ed214f156e4164e73071c2845-300x167.png)
- 100 TΩ超のインピーダンス測定
- 周波数:10 μHz〜10 MHz
- 加熱(RT〜800℃)電気炉接続
偏光顕微鏡
Polarized Optical Microscopy
(オリンパス BX51 + SONYミラーレス一眼)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/352f338c65e2985663143052c9750914-217x300.png)
蛍光顕微鏡
Fluorescence Microscopy
(オリンパス BX53 + ファイバー分光器、イメージングユニット)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/dc52591027d1b3e9f191298e9c5446d5-237x300.png)
- 測定波長:250 ~ 850 nm
- 顕微BL測定、蛍光イメージング
インピーダンスアナライザ
Impedance Analyzer
(Solartron ModuLab XM MTS)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/99ad5fd4902138be9f4b258f879ee105-300x222.png)
高温サンプルホルダ
High temperature sample holder
(Probostat)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2021/09/044c43d03b3f11e756b70057d85bbdfa-187x300.png)
ゼータ電位・粒径・分子量測定システム
Zeta-potential & Particle size Analyzer
(ELSZ-2000ZSC)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2021/09/2d8098ccfb4e423c30ec0cfb1274a06f-300x194.png)
ホール効果測定装置
(FastHall)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2022/04/96237f8d6afbb82de44b7a32097f7d0b-300x281.png)
薄膜・デバイス作製 / Thin Films & Device Fabrications
LB膜作製装置
LB Trough
(USI)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2018/09/9fc7b05a26cfedf7268ad0eef78bc655-300x212.png)
LB膜作製装置
LB Trough
(KSV NIMA Large LB)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/48c6896d20fc3be5f3af57c1459830d9-300x166.png)
- トラフ面積:580 ×145 mm2
- 最大基板サイズ:106 × 106 mm2
電子ビーム真空蒸着装置
E-Beam Deposition System
(Sanyu SVC-700LEB)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/8bda8947dcd544c78e52f9a809a5dfba-232x300.png)
- 金属電極作製 (Au, Pt, Ti..)、多層製膜
- 3連式EBガン+抵抗加熱
- カーボン蒸着用フラッシュ電源
RFスパッター
RF Sputtering System
(Sanyu SVC-700RF)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/b616a315069b784401f4a008edf71a25-237x300.png)
- 金属電極作製 (Au, Pt)
- 酸化物薄膜、絶縁膜作製
LED微細加工装置
LED Optical Lithography
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/404ceca5e91a1a7721dc3a933f4a0ea7-300x223.png)
スピンコーター
Spin Coater
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/07/2bf211dd7d8ed154a3fd4da64e360e75-300x255.png)
クイックコーター
Quick Coater
(SC-701/SC-701MkⅡ/SC-701AT)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/a7bfea712543a1ae939516eaad13ecc3-300x156.png)
合成 / Synthesis
バキューム型グローブボックス
Vacuum Glovebox
(UNICO UN-1000L)
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/4de12d91602b46972d6f5bf0630afc2b-300x231.png)
雰囲気制御管状炉
Environment Control Furnace
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/c8a02a95b2ea344894c9b37756c0c1a8-281x300.png)
真空窒素ライン
Vacuum, N2 Gas Line
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/4fc70db276ccec20619125fc7f9d8dac-300x235.png)
電気炉
Furnace
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2020/12/2e3e35b4348c27d254863ce3c6734d7e-243x300.png)
真空封管ライン
Vacuum sealed-tube line
![](https://mosada-lab-nagoya.com/wp-content/uploads/2023/05/IMG_0984-300x225.jpg)