分析・物性評価 / Materials Characterization & Physical Properties
環境制御型走査型プローブ顕微鏡
Environment Control Scanning Probe Microscopy
(日立ハイテクサイエンス E-Sweep)
- AFM, DFM, PM (位相測定), 電流測定, PFM, KFM, MFM, SNDM
- 大気、真空、冷却加熱（-120〜300℃/RT〜1000℃）
- 磁場印加
共焦点レーザー顕微鏡
Confocal Laser Microscopy
(オリンパスLEXT OLS4000)
- 3D測定レーザー顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(日立ハイテクサイエンス AFM5100N)
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(OXFORD Instruments MFP-3D Origin)
走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscopy
(オックスフォードインスツルメンツ CypherVRS)
・小径LDモジュール
・高速AFM(ビデオレート測定)
・コンダクティブAFMモジュール
デスクトップ単結晶Ｘ線構造解析装置
Desktop-type single crystal XRD
(XtaLAB mini II)
X線光電子分光分析装置
X-ray Photoelectron Spectroscopy
(PHI VersaProbeIII)
- UPS (紫外光電子分光)
- AES (オージェ電子分光)
- LEIPS (低エネルギー逆光電子分光)
- 走査型マイクロフォーカスX線源
電界放出型走査型電子顕微鏡
FE-SEM
(JSM-7610FPlus)
顕微ラマン分光装置
Micro Raman Spectroscopy
(Horiba Jobin-Yvon T64000)
- 励起光源：Ar 514.5 nm
- トリプルモノクロメーター
- 測定波数範囲：5〜4000 cm-1
- 冷却加熱（4K〜RT/RT〜1500℃）, クライオスタット、加熱ステージ利用
波長可変顕微ラマン分光装置
Micro Raman Spectroscopy
(Horiba Jobin-Yvon LabRAM HR-800)
- 励起波長：325, 515, 532, 568, 633, 752 nm
- シングルモノクロメーター + ノッチフィルター
- 測定波数範囲：100〜4000 cm-1
- 冷却加熱（4K〜RT/RT〜1500℃）, クライオスタット、加熱ステージ利用
近接場分光システム
Near-Field Optical Spectroscopy
(Omicron TwinSNOM)
- 高空間分解能(~ 20 nm)でのラマン、PL、反射測定
FT-IR
(日本分光FT/IR-4600)
- 測定波数：350 – 7800 cm-1
- 分解能：0.7 cm-1
熱重量示差熱同時測定装置
TG/DTA
(STA7200)
紫外可視分光光度計
UV-Visible Spectrometer
(日立ハイテクサイエンス U-3900)
紫外可視分光光度計
UV-Visible Spectrometer
(日立ハイテクサイエンス U-4100)
X線回折装置
X-Ray Diffractometer
(リガク 全自動多目的X線回折装置 SmartLab)
磁気光学分光装置
Magneto-Optical Spectroscopy
(ネオアーク BH-M800UV-KC-KF)
- 測定波長範囲：200 ~ 900 nm
- カー測定、ファラデー測定
- 印加磁場：± 2 kOe
- 冷却加熱（4K〜RT/RT〜800℃）, クライオスタット、加熱ステージ利用
SHG 顕微鏡
SHG Microscopy
(Lambda Vision)
- 励起波長：1064, 752 nm
- 顕微SHG観察
磁場印加型低温プローバー
Low Temperature Prober System
(LakeShore TTPX/TS)
- 温度範囲：2 ~ 475 K
- 垂直磁場： 2 T
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システムとの接続により各種物性評価
環境制御型プローバー/グローブボックス
Environment Control Prober System
(共和理研 K-160MPH/MWH)
- 温度範囲：室温 ~ 500℃
- 雰囲気制御（湿度、ガス導入）
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システムとの接続により各種物性評価
小型プローバー
Micro Prober System
(ハイソル HMP-400)
- 半導体パラメータアナライザー、誘電体評価システム、マテリアルアナライザーと接続
- fAレベルの微小電流測定、fFレベルの微小容量測定、40GHzまでのRF測定
４探針プローバー
Four Point Prober
(ハイソル SR-4)
- KEITHLEY 2401型ソースメータと接続
- シート抵抗値・体積抵抗率
誘電体評価システム（薄膜用）
(Keithley 4200 SCS + Agilent 4294A)
- 周波数：40 Hz ~ 110 MHz
誘電体テストシステム（薄膜用）
(Keithley 4200 SCS + Agilent E4980A)
- 測定周波数：20 Hz ~ 2 MHz
強誘電体評価システム（薄膜用）
Dielectric Test System
(Radiant Premier II)
- 微小キャパシタンス測定
- AFMとの接続によるナノ材料評価
強誘電体テストシステム（薄膜用）
Dielectric Test System
(東陽テクニカ FCE1A)
- 測定周波数：20 Hz ~ 2 MHz
強誘電体テストシステム（バルク、高電圧用）
Ferroelectric Test System
(Radiant Precision LC + 高電圧アンプ)
- 1kVまでの高電圧測定
誘電体テストシステム（バルク用）
Ferroelectric Test System
(東陽テクニカ 1260A + 1296A)
- 100 TΩ超のインピーダンス測定
- 周波数：10 μHz〜10 MHz
- 加熱（RT〜800℃）電気炉接続
RFインピーダンス/マテリアルアナライザー
RF Impedance/Material Analyzer
(Agilent E4991A)
- 1kVまでの高電圧測定
電気化学測定システム
Potentiostats Electrochemistry System
(Keithley 2450-EC)
- 100 TΩ超のインピーダンス測定
- 周波数：10 μHz〜10 MHz
- 加熱（RT〜800℃）電気炉接続
偏光顕微鏡
Polarized Optical Microscopy
(オリンパス BX51 + SONYミラーレス一眼)
蛍光顕微鏡
Fluorescence Microscopy
(オリンパス BX53 + ファイバー分光器、イメージングユニット)
- 測定波長：250 ~ 850 nm
- 顕微BL測定、蛍光イメージング
インピーダンスアナライザ
Impedance Analyzer
(Solartron ModuLab XM MTS)
高温サンプルホルダ
High temperature sample holder
(Probostat)
ゼータ電位・粒径・分子量測定システム
Zeta-potential & Particle size Analyzer
(ELSZ-2000ZSC)
ホール効果測定装置
(FastHall)
薄膜・デバイス作製 / Thin Films & Device Fabrications
LB膜作製装置
LB Trough
（USI）
LB膜作製装置
LB Trough
（KSV NIMA Large LB）
- トラフ面積：580 ×145 mm2
- 最大基板サイズ：106 × 106 mm2
電子ビーム真空蒸着装置
E-Beam Deposition System
(Sanyu SVC-700LEB)
- 金属電極作製 (Au, Pt, Ti..)、多層製膜
- 3連式EBガン＋抵抗加熱
- カーボン蒸着用フラッシュ電源
RFスパッター
RF Sputtering System
(Sanyu SVC-700RF)
- 金属電極作製 (Au, Pt)
- 酸化物薄膜、絶縁膜作製
LED微細加工装置
LED Optical Lithography
スピンコーター
Spin Coater
クイックコーター
Quick Coater
(SC-701／SC-701MkⅡ／SC-701AT)
合成 / Synthesis
バキューム型グローブボックス
Vacuum Glovebox
(UNICO UN-1000L)
雰囲気制御管状炉
Environment Control Furnace
真空窒素ライン
Vacuum, N2 Gas Line
電気炉
Furnace
真空封管ライン
Vacuum sealed-tube line
